為迎接第16個(gè)“世界認(rèn)可日”和提高上海市檢驗(yàn)檢測(cè)認(rèn)證行業(yè)的影響力，上海市市場(chǎng)監(jiān)督管理局在6月8日舉辦了“檢驗(yàn)檢測(cè)認(rèn)證促進(jìn)產(chǎn)業(yè)優(yōu)化升級(jí)”主題宣傳活動(dòng)。廣電計(jì)量的芯片檢測(cè)案例“開發(fā)基于電子顯微技術(shù)的先進(jìn)制程芯片檢測(cè)分析方案，助力我國高端芯片研發(fā)制造”入選2023年上海市十大檢驗(yàn)檢測(cè)創(chuàng)新案例，是入選機(jī)構(gòu)中唯一一家市場(chǎng)化運(yùn)營(yíng)的第三方檢測(cè)機(jī)構(gòu)，體現(xiàn)了主管部門對(duì)廣電計(jì)量助推上海高端集成電路產(chǎn)業(yè)發(fā)展的肯定。
發(fā)布會(huì)現(xiàn)場(chǎng)
廣電計(jì)量代表上臺(tái)領(lǐng)獎(jiǎng)（左二）
聚焦半導(dǎo)體領(lǐng)域 用顯微分析助力產(chǎn)業(yè)發(fā)展
廣電計(jì)量集成電路測(cè)試與分析事業(yè)部組建了一支由博士帶頭的顯微分析技術(shù)團(tuán)隊(duì)，擁有專業(yè)的芯片破壞性物理分析和芯片顯微結(jié)構(gòu)分析能力，配備了TEM、DB FIB等先進(jìn)的顯微分析設(shè)備，可以為客戶提供專業(yè)的半導(dǎo)體器件解剖、4nm及以上先進(jìn)工藝制程晶圓級(jí)TEM分析服務(wù)。服務(wù)的客戶遍布國內(nèi)一線晶圓廠、芯片設(shè)計(jì)公司、激光器芯片設(shè)計(jì)研發(fā)公司、封裝廠、半導(dǎo)體設(shè)備研發(fā)、先進(jìn)半導(dǎo)體器件研發(fā)、高校科研院所等。服務(wù)的產(chǎn)品類型包括硅片晶圓、芯片、VCSEL激光器、光學(xué)器件、功率器件、存儲(chǔ)器芯片等。
廣電計(jì)量獲“2023年上海市檢驗(yàn)檢測(cè)創(chuàng)新案例”
2023年檢驗(yàn)檢測(cè)創(chuàng)新案例征集，共收到來自檢驗(yàn)檢測(cè)機(jī)構(gòu)、高校科研院所、企業(yè)內(nèi)部實(shí)驗(yàn)室、儀器設(shè)備研發(fā)制造企業(yè)等單位的近100個(gè)申報(bào)案例。“開發(fā)基于電子顯微技術(shù)的先進(jìn)制程芯片檢測(cè)分析方案，助力我國高端芯片研發(fā)制造”案例由廣電計(jì)量集成電路測(cè)試與分析事業(yè)部陳振博士團(tuán)隊(duì)主導(dǎo)，歷經(jīng)“項(xiàng)目申報(bào)、專家初評(píng)審、公開投票、現(xiàn)場(chǎng)答辯、專家終評(píng)審”等眾多環(huán)節(jié)，在百余家參與企業(yè)中脫穎而出，最終得以成功入圍前10名，入選“2023年上海市檢驗(yàn)檢測(cè)創(chuàng)新案例”。
4nm制程晶圓級(jí)TEM分析照片
廣電計(jì)量集成電路測(cè)試與分析上海實(shí)驗(yàn)室基于電子顯微技術(shù)，開發(fā)了先進(jìn)制程芯片工藝解剖方案，掌握了先進(jìn)制程芯片晶圓級(jí)工藝分析的核心技術(shù)，實(shí)現(xiàn)了4nm先進(jìn)制程芯片的晶圓級(jí)工藝分析，如FinFet結(jié)構(gòu)分析，原子級(jí)分辨率的形貌表征和成分分析等，可以更好的服務(wù)我國芯片設(shè)計(jì)及制造企業(yè)，保障自主知識(shí)產(chǎn)權(quán)安全！